[15] (2018.02.02) 전기변색 소자용 텅스텐 삼산화물 박막 및 이의 제조방법 10-2016-0094018
[14] (2017.07.06) VO2 박막의 제조방법, 이를 통해 제조된 VO2 박막 및 이를 포함하는 스마트 유리 10-1757324
[13] (2011.06.10) 산소 플라즈마를 이용하여 초친수성 표면개질된 산화티타늄 나노구조물 및 이의 제조방법 10-2009-0118480
[12] (2011.05.25) 초음파 분무 열분해용 액적발생장치의 작동방법 10-2009-0112221
[11] (2011.05.09) 포토레지스트 제거 방법, 이를 포함하는 산화 아연계 ＴＣＯ박막의 제조 방법 및 산화 아연계 ＴＣＯ박막 10-2009-0104232
[10] (2010.12.31) 금 나노입자가 코팅된 백금촉매 및 이의 제조 방법 10-2009-0056667
[9] (2009.09.09) 유기-무기 복합 절연층을 포함하는 유기박막 트랜지스터 및 그의 제조방법 10-2008-0020545
[8] (2008.10.08) 염료감응형 태양전지 및 이의 제조 방법 10-2007-0033488
[7] (2006.11.23) 유도 결합형 플라즈마를 이용한 산화아연박막의 식각 방법 10-2005-0040866
[6] (2003.10.30) 고 내식성 유기 고분자 박막의 고속제조 방법 10-2002-0021658
[5] (2002.12.18) 티오펜 유도체의 플라즈마 보조 화학 기상 증착에 의한 유기 고분자 박막의 제조방법 10-2001-0033184
[4] (2001.07.02) 초고속 펄스-직류 마그네트론 스퍼터 코팅원에 의한 저온다결정 실리콘 및 고기능성 박막의 증착을 위한 스퍼터링장치 10-1999-0055059
[3] (2001.05.15) 미세 접촉 인쇄법과 선택적 화학 기상 증착법을 이용한 산화티타늄 박막의 형상화 방법 10-1999-0046386
[2] (1997.12.12) 규소(001)및(111)기질위에1,3-디실라부탄을화학증착하여입방형탄화규소막을적층성장시키는방법 10-1996-0019380
[1] (1995.05.15) 단일 유기규소 화합물을 이용한 탄화규소 막의 제조 1993-0021027